硼10三氟化硼作为重要的硼同位素气体，在各个行业都有不少的应用，不过在行业内主要是以这几种规格为主：

第一种就是丰度≥99.9%at的硼10三氟化硼，主要被用在BNCT硼药合成、高精度同位素分析等高端领域。

第二种是丰度≥99.0%at的通用型规格，在普通工业材料研发、同位素标记实验等场景应用较多。

相对较少的是丰度95%at的产品，一般可以批量供应，主要用于低成本的科研验证、方法开发等非核心应用。

纯度方面一般分为≥99.9%的高纯级、≥99.0%的工业级以及≥99.999%的超高纯级，我国已经实现产品的国产化。

硼10三氟化硼的生产核心在于原料制备——同位素分离——纯化三部分；

第一步是通过硼酸、氟化氢、发烟硝酸为核心原料反应生成粗制的三氟化硼气体，第一种是最经典的高温合成，一般都是实验室采用这种方法，另一种就是优化合成法，将硫酸与硼酸混合，加入三氧化硫制备硼酸酐的硫酸溶液，再与氟硼酸盐混合并通入三氧化硫反应生成BF₃气体，这种是目前部分企业采用的高效合成方案。

第二步就是富集分离，通过分离技术富集硼10，将粗制的三氟化硼与甲醚等试剂进行络合反应，实现初步的分离，然后与配合物进行交换反应，进一步放大硼10的丰度差异，获得硼10中间体；

第三步就是通过精馏工艺深度分离，得到目标丰度的硼10三氟化硼，这种工艺室目前富集硼10的核心技术，国内已实现规模化量产，可稳定产出高丰度产品。

最后就是通过纯化来提升纯度，采用吸附纯化、色谱分离、深度干燥等一步步的方式得到目标纯度的产品，之后将纯化后的硼10三氟化硼充装到符合标准的铝合金或钢制无缝气瓶中，通过ICP – MS测定硼同位素丰度、气相色谱法等方式测定杂质含量，确保丰度和纯度符合产品要求。